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    無油真空泵又名無油干式真空泵，屬于干式真空泵，（又簡稱干式機(jī)械泵）
    從上一次的全球峰會，到近日的國家兩會，走在提出：低碳、環(huán)保。節(jié)能的環(huán)保理念。油潤滑真空泵的使用會排出一定的二氧化碳和廢氣。在真空行業(yè)中，我們都建議使用干式泵
    工作原理
    無油真空泵由定子、轉(zhuǎn)子、旋片、缸體、電機(jī)等主要零件組成。帶有旋片的轉(zhuǎn)子，偏心地安裝在定缸內(nèi)，當(dāng)轉(zhuǎn)子高速旋轉(zhuǎn)時，轉(zhuǎn)子槽內(nèi)四個徑向滑動旋片將泵腔分隔成四個工作室，由于離心力作用，旋片緊貼在缸壁，把定子進(jìn)排出口分離開來，周而復(fù)始運轉(zhuǎn)，進(jìn)行變?nèi)�，將吸入氣體，從排氣口排出，從而達(dá)到抽氣目的。
    無油真空泵常見應(yīng)用領(lǐng)域：
    1）低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；
    2）半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；
    3）除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微�；烊氡糜椭�，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求；
    4）在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機(jī)溶劑造成污染，適合用干式真空泵；
    5）用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以防止油污染。